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基于微环谐振器的甲烷传感器

王文清 王晓璐 田子建

王文清,王晓璐,田子建.基于微环谐振器的甲烷传感器[J].工矿自动化,2016, 42(2):34-38..  doi: 10.13272/j.issn.1671-251x.2016.02.009
引用本文: 王文清,王晓璐,田子建.基于微环谐振器的甲烷传感器[J].工矿自动化,2016, 42(2):34-38..  doi: 10.13272/j.issn.1671-251x.2016.02.009
WANG Wenqing, WANG Xiaolu, TIAN Zijian. Methane sensor based on micro-ring resonator[J]. Industry and Mine Automation, 2016, 42(2): 34-38. doi: 10.13272/j.issn.1671-251x.2016.02.009
Citation: WANG Wenqing, WANG Xiaolu, TIAN Zijian. Methane sensor based on micro-ring resonator[J]. Industry and Mine Automation, 2016, 42(2): 34-38. doi: 10.13272/j.issn.1671-251x.2016.02.009

基于微环谐振器的甲烷传感器

doi: 10.13272/j.issn.1671-251x.2016.02.009
基金项目: 

国家自然科学基金资助项目(U1261125)

北京市教育委员会创新团队建设提升计划资助项目(IDHT20130511)

详细信息
  • 中图分类号: TD712.55

Methane sensor based on micro-ring resonator

  • 摘要: 提出了一种新型的基于微环谐振器的甲烷传感器。该传感器通过微环表层的穴番A涂层来增加微环的有效折射率,使微环谐振器中谐振波长随甲烷浓度的增加而向右漂移;通过测量输出光信号的谐振波长推算出甲烷浓度。理论分析结果表明,该传感器的谐振波长变化范围在一个自由光谱范围内,甲烷浓度测量范围为0~15%;对比SOI材料和聚合物材料、单面敏感膜和三面敏感膜的测量结果,得出聚合物材料三面敏感膜微环的谐振波长变化幅度较大,测量灵敏度为60 pm。

     

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出版历程
  • 刊出日期:  2016-02-01

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