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双层电阻栅SOI应变计的设计及其在煤矿的应用

付东波 杜涛涛 沈绍群

付东波,杜涛涛,沈绍群.双层电阻栅SOI应变计的设计及其在煤矿的应用[J].工矿自动化,2016,42(12):10-14..  doi: 10.13272/j.issn.1671-251x.2016.12.003
引用本文: 付东波,杜涛涛,沈绍群.双层电阻栅SOI应变计的设计及其在煤矿的应用[J].工矿自动化,2016,42(12):10-14..  doi: 10.13272/j.issn.1671-251x.2016.12.003
FU Dongbo, DU Taotao, SHEN Shaoqun. Design of double layer resistance gird SOI strainometer and its application in coal mine[J]. Industry and Mine Automation, 2016, 42(12): 10-14. doi: 10.13272/j.issn.1671-251x.2016.12.003
Citation: FU Dongbo, DU Taotao, SHEN Shaoqun. Design of double layer resistance gird SOI strainometer and its application in coal mine[J]. Industry and Mine Automation, 2016, 42(12): 10-14. doi: 10.13272/j.issn.1671-251x.2016.12.003

双层电阻栅SOI应变计的设计及其在煤矿的应用

doi: 10.13272/j.issn.1671-251x.2016.12.003
基金项目: 

国家自然科学基金青年基金项目(51304115)

中国煤炭科工集团科技创新基金重点资助项目(2013ZD002)

天地科技技术创新基金项目(KJ-2015-TDKC-02)

天地科技开采青年创新基金项目(KJ-2015-TDKC-12)

详细信息
  • 中图分类号: TD355.4

Design of double layer resistance gird SOI strainometer and its application in coal mine

  • 摘要: 设计了一种微熔结构的双层电阻栅SOI应变计,该应变计利用热生长氧化、光刻、刻蚀等工艺方法进行制作,解决了通常SOI应变计体电阻阻值小、易受污染的问题,提高了应变计的精度、绝缘性和工作稳定性。现场试验结果表明,利用该应变计制作的煤矿钻孔应力计测量数据准确,工作稳定可靠,适用于煤岩体应力监测。

     

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出版历程
  • 刊出日期:  2016-12-10

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